＜NAC系列的主要特点＞
●针对硅晶圆，可全自动完成气相分解→污染物回收→稀释已回收样本等工序。
●既可对疏水性晶圆也可对亲水性晶圆进行回收（仅能对带有倒角的疏水性晶圆进行回收）。
●当需要一次性从大量晶圆中提取样本进行分析时，这是一种极为实用的设备。
●具备对回收的药液进行计量和稀释的功能，可防止在晶圆上仍有药液残留的情况下继续操作。
●采用独特的双门结构，可防止作业空间内的酸性环境与操作人员所在区域的污染相互混合。
●具备自动清洗用于采样的固定装置的功能，可减少操作人员的劳动量（※适用于表面用和侧面用的固定装置）。

也有能够全自动完成“批量蚀刻→晶圆污染物回收”工序的装置（NAC-304）。
此外，近年来，为了降低污染程度，人们越来越需要能够实现“批量蚀刻→晶圆污染物回收→通过ICP-MS进行自动元素分析”这一整套流程的装置（NAC-316）。

※1：不包括凸起物。