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用于去除粉末,以及在干法蚀刻工艺和CVD工艺中使用的、用于处理水溶性气体及氨气等的试剂。
新型的水净化装置“科托尔”具备自动清洗功能,因此无需频繁维护,可长期使用。
通过以微米级尺寸的液滴高速撞击粉末,能够以比以往任何粉末处理设备都更高的效率来对粉末进行加工。
有多种组合方式,可与干式除害筒搭配使用,也可进行串联或并联连接。
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