用于去除气体中粉尘的“Trapack”装置有多种类型，包括元素型、漩涡型和组合型。
此外，还有专门用于存放“Trapack”装置的“Trapack柜子”，客户可以根据自身需求选择合适的型号。
| 元素型 | |
| 该装置能够将反应生成的粉尘从元素表面彻底捕获到深层区域。它采用了“Trapack元素”，这种元素能够捕获相当于其自身重量10倍以上的粉尘。 | |
| 漩涡型 | |
| 该装置中的反应生成物会在漩涡结构中不断碰撞，从而被有效捕获。“漩涡元素”就是用来实现这一功能的。 | |
| 组合型 | |
| 通过同时使用“Trapack元素”和“漩涡元素”，可以充分发挥这两种元素的优点。 | |
TRAPPACK（成型元件类型）
适用于真空规格及排气规格的气体与粉尘去除装置的基础型号。
特点
高性能：能够去除微小的反应产物（微粉体）
低损耗：元件的密度较低，网格间隙较大
可大量捕获颗粒物：这些颗粒物会逐渐在元件表面及内部堆积起来
主要用途：植入物、蚀刻处理
TRAPPACK（漩涡型）
在Trapack的基础上进一步改进，为各组件配备了涡流型装置的气体粉末去除装置。
特点
无压力损失：由于采用了涡流结构，因此粉末不会长时间受到压力损失的影响
高性能：通过调整涡流的数量和间距，可以几乎完全阻止粉末进入
超大量捕集：粉末会逐渐堆积在涡流元件的表面上
主要应用领域：化学气相沉积、蚀刻工艺
TRAPPACK（成型元件类型）
在Trapack的基础上进一步改进，为各个组件配备了组合型类型（涡流型+组件型），从而形成一种用于去除气体中粉尘的装置。
特点
高性能：能够去除细微的反应产物（微粉体）
低损耗：元件密度较低，网格间隙较大
高效捕集：粉体会在涡流区域及元件区域内逐层堆积起来
主要用途：CVD、蚀刻
移动端
发求购
发供应
