
通过PC进行集中控制,界面布局(共5个界面)
紧凑型炉体
降低运营成本
具有优异安全性的设计
| 硅材料可投入的**尺寸 | 840×840×250(毫米) |
|---|---|
| 育成时间 | 60~70小时 |
| 结晶重量 | 420公斤 |
| 加热温度 | **1700℃,常用1600℃(碳加热器) |
| 炉内压力 | 大气压~减压 |
| 氛围 | 氩气流量:1~50升/分钟,压力为0.2兆帕,流量为50升/分钟 |
| 电源 | 三相交流,400/440伏,50/60赫兹通用,300千伏安 |
| 耐火材 | 成形隔热材料(碳质材料) |
| 冷却水 | 压力0.3MPa 流量400L/min 温度35℃以下 |
| 空气 | 0.5MPa以上 |
| 腔室 | 水冷双重结构 |