Phenom XL G3 是飞纳推出的大仓室台式扫描电镜，可用于金属腐蚀形貌观察，帮助分析腐蚀坑、氧化层和表面损伤特征。
Phenom XL G3 平均成像时间约 40 秒，可对** 100 x 100 mm 的样品进行分析，适合较大尺寸样品或多样品检测场景。设备采用 CeB6 灯丝，电子光学放大倍数可达 200,000 X，分辨率优于 8 nm，适用于日常质检、研发分析、失效分析和样品测试等应用。
该产品具备大仓室样品台、低/中/高三种真空模式、背散射探测器，并可根据需求选配二次电子探测器和能谱探测器。对于不导电、导电性较差或电子束敏感样品，设备可通过低电压成像降低荷电影响，获得较好的表面形貌图像。
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