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该设备是一种多功能、操作简便的磁控溅射镀膜装置。它属于小型台式、占用空间小的设备,能够利用强磁场实现多种金属的镀膜。在较低电压下即可进行镀膜处理,同时由于样品采用悬浮式结构,因此可以大大减少样品的损伤。配备触摸屏操作界面及配方功能,可通过序列控制器实现全自动溅射镀膜过程。
该产品包含设备主体以及隔膜泵。此外,还需要氩气与冷却水循环系统,因此请先确认相关设施是否具备。
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