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该装置是一种利用磁控靶进行金属涂层的设备。可用于处理像8英寸晶圆这样的大面积样品,以及同时处理多个样品。
MSP-8in的靶极电极能够沿着靶金属表面产生多层同心的磁场,通过这些磁场来捕获电子,从而提高用于使靶金属溅射的等离子体离子密度。磁场的强度经过精心设计,以确保从靶心到边缘处,沉积在靶上的金属膜厚度保持一致。
该产品包含设备主体、1块靶金属(请指定种类)、旋转泵以及SUS材质的柔性软管。
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