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日本 真空设备 Shinkuu 磁控溅射装置 MSP-20TK
日本 真空设备 Shinkuu 磁控溅射装置 MSP-20TK
  • 型号

    MSP-20TK
  • 产地

    日本
  • 品牌

  • 产品分类

    常用器具/玻璃耗材
  • 关注度

    211
  • 参考报价

    1万元以下
产品详情

该设备用于在电子显微镜的样品表面涂覆金属薄膜,并对其进行导电处理。
作为靶材,主要是钨,它被用于电子显微镜的高倍率观察中。此外,还有许多其他可以用来涂覆的金属。

电极采用风冷磁控管方式,能够在较低电压下实现特殊金属涂层的形成。这是因为气体中的电子会进行磁控运动,从而大幅提升离子化效率。这一设计有助于大大减少对样品的损伤。

该产品必须使用氩气。

该产品包含设备主体、标准靶材(W)、旋转泵,以及由SUS材料制成的柔性真空软管。

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典型应用场景

20 万倍以上超高分辨 FE-SEM 样品钨膜导电镀膜、FIB 聚焦离子束超薄保护层制备、原子尺度微观形貌表征、锂电焦炭 / 石墨纳米粉体高分辨三维观测、第三代半导体晶圆微观缺陷检测、生物薄膜 / 高分子低损伤制样、地质矿物超细晶粒立体观测、微型金属电极、硬质抗氧化薄膜研发。


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