

该设备用于在电子显微镜样品等物体表面涂覆贵金属薄膜,并对其进行导电处理。
SEM观察样品的导电处理。用于FIIB的保护膜的制备。元素分析所需的导电处理。此外,还可用于电极制备、防氧化膜制作等多种用途。
为满足各种应用需求,它配备了气氛气体的导入机制、气体气氛压力调节功能以及电流调节功能。
可以按照设定条件自动执行一系列涂层处理操作。系统配备了完善的旁通排气装置以及防止误操作的互锁功能;此外,还提供可选的倾斜旋转机构,用以进一步提升其工作性能。
该产品包含设备主体、旋转泵、1块靶金属(请指定种类),以及由SUS材料制成的柔性真空软管。
