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高速、非接触、无损、自动检测Micro LED晶圆整片
MiNYPL是一款使用光致发光测量方法的MicroLED晶圆检测系统
三大功能
光致发光(PL)测量使之成为可能
检测自动光学检测(AOI)无法检测到的发光和波长异常
实现100%检测，这是电致发光(EL)检测无法实现的
允许在制造过程的前端进行检测，有助于获得更高良率
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