产品特点
高性能气体输送涡轮叶片
耐反应产物沉积结构与功能
丰富的配件与可扩展性
应用领域
光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器
技术指标
进气口法兰 | DN200 ISO-F DN200 CF | 加热温度 | 60至70℃ |
排气口法兰 | KF40 | 抽速速率（L/s） | N2:1280 Ar:1100 He: 880 H2:560 |
压缩比 | N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He: ＞1E4 H2:＞1E3 | 极限压强（Pa） | 1E-7（橡胶密封Rubber seal） 1E-8（金属密封metal seal） |
**瞬时入口流量（sccm） | 1100 | 保护气入口法兰（选配） | KF10 |
推荐保护气体流量（sccm） | 20 | **允许磁场强度（mT） | 径向Radial：3 轴向 Axial：15 |
额定转速（RPM） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
停机时间（min） | ≤8 | 冷却方式 | 水冷 |
冷却水流量（L/min） | 2 | 冷却水温度（℃） | 20±5 |
电源电压（VAC） | 220±10%，50Hz 110±10%，60Hz | **功率（W） | 1000 |
适配电源型号 | CXFD-1001S | 控制线缆长度（m） | 5或10（选配） |
建议前级泵（L/s） | ≥16 | 重量（kg） | 44（ISO-F） |
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