产品特点
更高转速对小分子气体压缩比更高
单磁轴承结构超长运行寿命
集成式控制器支持多种控制方式
任意角度安装应用场景广泛
应用领域
电子显微镜、检漏、质谱、表面分析、等离子监测、残余气体分析、医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
技术指标
进气口法兰 | DN63 ISO-K DN63 CF-F | 抽速速率（L/s） | N2:85 He:73 H2: 61 Ar:83 |
压缩比 | N2：＞1E11 He：＞1.3E7 | 临界前级压力（Pa） | N2：2200 He:2200 |
*低工作压力（Pa） | DN63 ISO-K：＜8E-6 DN63 CF-F：＜2E-7 | 额定转速（RPM） | 90000 |
启动时间（min） | ＜2.5 | 噪音（dB） | ＜48 |
振动值（μm） | ＜0.05 | 设计无故障运行时间（h） | ＞15000 |
安装角度 | 任意角度 | 冷却方式 | 自然冷却、风冷、水冷 |
排气口法兰 | DN16 ISO-K | 建议前级泵（L/s） | 0.5-2 |
高真空法兰烘烤温度（℃） | 100 | 环境温度（℃） | 5-30（自然冷却）、5-35（风冷）、5-40（水冷） |
重量（kg） | DN63 ISO-K：2.8 DN63 CF-F：4.5 |
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