产品描述：
氮化铝烧结炉（卧式）主要用于半导体领域的氮化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结。
应用范围：
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件
采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好；
全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强；
可具备真空烧结、负压脱脂烧结、载气脱脂烧结等功能；
可选配脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理；
适于工艺气氛：N2/Ar/H2。
| 参数\型号 | HSN-040418 | HSN-050515 | HSN-060612 | HSN-060618 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 400×400×1800 | 500×500×1500 | 600×600×1200 | 600×600×1800 |
| **温度（℃） | 1500-2000 | 1500-2000 | 1500-2000 | 1500-2000 |
| 温度均匀性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 极限真空度（Pa） | 10-4-100 | 10-4-100 | 10-4-100 | 10-4-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC/陶瓷
热电偶：K/N/C/S分度号（钨套管/钼套管/陶瓷管）
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