一、产品名称

ICSPI REDUX 原子力显微镜｜台式AFM｜纳米级3D形貌分析系统

二、产品概述

ICSPI REDUX 原子力显微镜是一款基于芯片化技术（AFM-on-a-chip）的台式纳米表征设备，集高自动化、快速扫描与易操作性于一体。系统无需复杂光学调节与激光对准，即可实现亚纳米级分辨率的三维形貌成像与定量分析，广泛适用于材料科学、半导体、生命科学及教学实验等场景。

该设备通过高度集成的MEMS传感器与自动化扫描流程，大幅降低操作门槛，实现“3步完成纳米成像”的高效工作模式。

三、产品特点

1. 超高自动化，降低使用门槛

• 自动配置、自动接近、自动扫描

• 无需激光对准，减少人工干预

• 3次点击即可完成扫描流程

2. 快速获取纳米级数据

• *快约3分钟获取完整数据

• 常规扫描时间约1分钟级

• 支持高通量样品检测

3. 芯片式AFM技术（AFM-on-a-chip）

• 集成XYZ扫描与传感系统于1 mm²芯片

• 基于MEMS压阻传感器，无需复杂光路

• 稳定性高，维护成本低

4. 电动平台+光学导航系统

• 电动XY及Z轴平台，精准定位

• 集成光学显微镜，实现快速区域选择

• 提升操作效率与重复性

5. 长寿命AFM探针（芯片）

• 单芯片可使用超过1000次扫描

• 无明显性能衰减

• 显著降低耗材成本

四、功能与应用

核心功能

• 三维形貌成像（3D Topography）

• 表面粗糙度分析（Ra/Rq等）

• 薄膜厚度及台阶高度测量

• 纳米颗粒尺寸与分布分析

• 相位成像（材料成分差异分析）

典型应用领域

• 半导体与微电子（薄膜、晶圆检测）

• 新材料与纳米材料研究

• 生物样品表面形貌分析

• 教学与科研实验室

• 工业质量控制与失效分析

五、技术优势

六、技术参数

扫描性能

• **扫描范围：20 μm × 20 μm

• *小扫描范围：300 nm × 300 nm

• 垂直范围：20 μm

• 本底噪声：< 0.5 nm rms

扫描速度

• 快速扫描（128 px）：约16 s

• 常规扫描（256 px）：约80 s

• 高分辨率（512 px）：约5 min

• **分辨率：1024 × 1024

样品规格

• **样品尺寸：125 mm × 95 mm

• **样品高度：20 mm

• **承重：250 g

定位系统

• 电动XY平台范围：12 mm × 12 mm

光学系统

• 物镜：10×，NA 0.25

• 视野：1.4 mm × 0.8 mm

• 分辨率：1920 × 1080

设备参数

• 尺寸：232 × 220 × 246 mm

• 重量：约4 kg

• 通信接口：USB

• 操作系统：Windows 10/11

七、产品优势总结

ICSPI REDUX 原子力显微镜通过芯片级AFM技术与高度自动化设计，实现了纳米级表征设备从“专家工具”向“通用工具”的转变。其在操作便捷性、数据获取效率及综合成本控制方面表现突出，是当前台式原子力显微镜领域中兼具性能与易用性的代表产品之一。

八、适用客户群体

• 高校科研实验室

• 半导体与材料研发企业

• 第三方检测机构

• 教学与培训中心