UNHT³ 超纳米压痕测试仪采用真实力传感器和位移传感器，可在纳米级别测量材料的力学特性。UNHT³ 采用获**的主动表面参比系统，消除了热漂移和框架柔度的影响。其适用于对所有类型的材料（包括聚合物、极薄层和软组织）进行从原子到纳米尺度的长时间测量。对于极低或极高温度下的测量，可提供真空室版本 (UNHT³ HTV，高达 800 ℃；低至 10-7 mbar）。
在 Step 平台上，将 UNHT³ 针头与其他划痕或压痕测试仪结合使用，完全覆盖纳米/微米/宏观范围。添加 AFM 模块即可利用单个仪器获得完整的表面力学表征。
UNHT³ 可测量他人估计的结果：两个独立的位移和载荷传感器可真正可靠地控制力和压入深度。此外，UNHT³ 还能提供安东帕已获**的主动顶部参比设计：由单参比压头监测样品的表面位置，同时由测量压头完成测量，以此消除热漂移和框架柔度的影响。其能够实现大范围的压入深度（从几 nm 至 100 μm）和压入载荷（从几 μN 至 100 mN）。
UNHT³ 采用独特的主动顶部表面参比技术和无热膨胀的 Zerodur 材质，是市面上**款无需任何位移校正且热漂移低至可忽略不计 (10 fm/sec) 的纳米压痕测试仪。这使得其成为了**款能够用于长时间测量（如蠕变测试）的纳米压痕测试仪。
通过结合 UNHT³ 针头的**性能、快速模式的效率以及 100 μm × 100 μm 压电样品台的先进功能，用户能够以****的速度实现样品表面的精确压痕成像。压电样品台出色的 10 nm 重新定位精度使压痕间距甚至能够低于 500 nm，从而可提供详细的表征，具有**的可靠性。可定制的用户配置文件、多功能测量协议、高效的多样品处理和量身定制的报告可进一步支持生产率的提高。通过实时压痕曲线提供行业**的处理量，每小时可进行 1000 次以上的测量
使用集成化 “正弦模式”，可以对力学特性进行位移曲线 DMA 分析（HIT、EIT 对比位移），并可测量薄膜到块状材料等样品的粘弹特性（E'、E''、储能和损耗模量、tan δ）。正弦模式还提供其他功能，例如压头快速校准以及应力/应变分析。
Step 平台可实现完整的表面力学表征测试。无论您是想进行纳米压痕测试，还是通过划痕或 AFM 测量来补强结果，Step 平台都能为您提供稳定性、噪声隔离和模块化方面的一流解决方案。
UNHT³ 的 HTV版本是**一款配备全自动程序的纳米压痕测试仪，可将热漂移降至*低，在整个温度范围内实现热漂移<3 nm/min。这是通过独特的**加热控制技术实现的，可以同时控制样品和压头的温度达到 0.1 ℃的精度。压痕软件控制加热和环境条件，并与系统实时交互，以**限度地减少热漂移并启动所有所需的测量。您可以计划一组具有不同温度步长的任何类型的压痕（也可使用标准 UNHT³），且仪器会根据预设矩阵自动进行测量。
| **载荷 [mN] | 50 / 100(1) |
| 载荷分辨率 [nN] | 3 |
| 载荷本底噪声 [rms] [μN] | ≤0.05 |
| 加载速度 [mN/min] | 高达 1000 |
| 深度量程 [μm] | 50 / 100(1) |
| 深度分辨率 [nm] | 0.003 |
| 深度本底噪声 [rms] [nm] | ≤0.03 |
| 数据采集频率 [kHz] | 192 |
| 选件 | |
| 加热台的温度可高达 200 ℃ | ✔ |
| 液体测试 | ✔ |
(1) 可选
**
UNHT³ 的主动顶部表面参比技术：US 7,685,868 B2
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