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氧化钇(Y₂O₃)喷涂粉 氧化钇喷涂粉主要应用于芯片制程中的特殊陶瓷部件、金属部件表面防护，同时通过各种喷涂工艺起到暴露在等离子体或腐蚀气体中防护作用，可以抵抗半导体材料加工设备中的腐蚀气体或等离子体所产生的化学和/或物理冲击。
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