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氟氧化钇(YOF)喷涂粉
氧化钇喷涂粉主要用于特殊陶瓷和金属部件的表面保护。同时，它通过各种喷涂工艺提供保护，防止暴露在等离子体或腐蚀性气体中，并可以抵抗半导体材料加工设备中腐蚀性气体或等离子体产生的化学和/或物理影响。这些组件包括等离子体或真空室(如等离子体蚀刻机)的部件，如介电窗、室壁、室衬里、基板支撑、挡板、气体分配板、气体分配环、卡盘机构(如静电卡盘)、聚焦环、喷嘴、紧固件、加热元件、等离子屏幕和其他类似组件。
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