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设备名称：热丝 CVD 金刚石膜沉积设备
设备型号：HF700
真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷
真空腔室尺寸：Φ700mmxH700mm
真空系统：高真空泵组系统
基片台尺寸：350mm²×350mm² 方形基片台（旋转、升降可选）
衬底温度：600 ～ 1100℃
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