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真空发生器小型
相对于能耗而言，真空流能力高。
低重量直列式设计，带推入式接头。
直接安装在软管上，快速方便。
0.6M Pa的Si/Ti晶体管，可提供额外的真空流，
双筒筒，可在低进料压力下保持可靠性。
当需要高流量和深真空时，采用0.4/0.5M Pa的Ti/Xi筒
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